UHP無(wú)彈簧系膜片低壓（1/4”或1/2”）

DRA500系列是無(wú)彈簧的VCR型減壓調(diào)節(jié)器，專門為超高純度半導(dǎo)體制造的氣柜，專用氣路，閥歧管箱和其他實(shí)驗(yàn)室而開發(fā)。

★高流量產(chǎn)品，1/4“ Cv = 0.5，1 / 2” Cv = 0.5。
★閥體采用STS 316L或316L VAR（雙熔體）和電解拋光（EP）處理，使其更適合于腐蝕性氣體環(huán)境。
★無(wú)彈簧型：代替現(xiàn)有彈簧的“波形彈簧（Drastar專利＃10-1191514）”可抑制由于長(zhǎng)期使用引起的疲勞而在彈簧本身中產(chǎn)生的異物的產(chǎn)生，因此需要超高純度和清潔度適用于領(lǐng)域。
★作為捆扎膜片類型，DRA500系列可通過(guò)防止任何有毒物質(zhì)泄漏到閥座上而防止由于有毒，可燃和高腐蝕性氣體而引起的隔膜破裂而提供最佳的安全性。
★隔膜和閥體采用金屬對(duì)金屬密封，以增強(qiáng)防漏能力。
★表面處理：EP 10Ra或5Ra微英寸（0.25或0.13微米）級(jí)進(jìn)行超精密處理。
★入口壓力為3000 psig（210 bar），2200 psig（151 bar）或600 psig（42 bar），出口壓力可以在5 psig（0.3 bar）至150 psig（10.3 bar）之間使用，具體取決于型號(hào)。
★焊接，組裝，實(shí)驗(yàn)和清潔等所有過(guò)程均在100級(jí)和10級(jí)潔凈室中進(jìn)行。

★DRA500系列提供高流量，在1/4“時(shí)Cv = 0.5，在1/2”時(shí)Cv = 0.5。
★內(nèi)漏率可達(dá)<1 x 10-9 atm cc / sec可用氦氣。
★閥體由316L或VAR（雙熔化）不銹鋼，電解拋光，適用于腐蝕性氣體
★膜片：STS 316L或哈氏合金
★無(wú)彈簧類型：“波形彈簧”（DRASTAR專利＃10-1191514）用于常規(guī)彈簧，可防止可能的顆粒長(zhǎng)期使用會(huì)因疲勞而產(chǎn)生彈簧本身，因此適用于需要超高純度和清潔的應(yīng)用場(chǎng)合
★金屬對(duì)金屬膜片至閥體密封以實(shí)現(xiàn)高泄漏完整性，
★EP最高可達(dá)10Ra或5Ra微英寸（0.25或0.13微米）以防止產(chǎn)生顆粒。
★DRA500系列是隔膜隔膜型，即使在閥板上產(chǎn)生任何顆粒，也能防止泄漏，并保護(hù)隔膜免受有毒，自燃性或腐蝕性氣體的破裂，從而提供了最高的安全性。
★入口壓力為3000psig（210bar），2200psig（151bar）或600psig（42bar），出口壓力為5psig（0.3bar）至150psig（10.3bar）。
★設(shè)計(jì)耐壓：最大額定壓力的150％
★所有焊接，組裝，測(cè)試和清潔工作均在100級(jí)和10級(jí)潔凈室中進(jìn)行。
★衰減入口特性：1.2 psig / 100 psig。

※使用我們的“推和鎖”控制旋鈕（我們的專利號(hào)10-1370537），使用起來(lái)更加方便，這完全解決了使用過(guò)程中由于氣體管線或外部微振動(dòng)引起的初始?jí)毫υO(shè)定值略有波動(dòng)的現(xiàn)象。 。通過(guò)按下調(diào)節(jié)旋鈕（鎖定），可以完全防止壓力設(shè)置值發(fā)生變化，并且通過(guò)向前拉旋鈕（解鎖），您可以自由地重置所需的壓力。