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歡迎來(lái)到 ATOVAC co.,ltd.

韓國(guó)ATOVAC公司成立于1997年10月，開(kāi)始開(kāi)發(fā)半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中的氣體和真空控制系統(tǒng)、測(cè)量等主要部件。

我們正在推動(dòng) MFC、MFC 控制器、對(duì)流壓力計(jì)和控制器、離子壓力計(jì)和控制器、電容壓力計(jì)、節(jié)流閥控制器等智能組件的開(kāi)發(fā)。我們 ATOVAC 將保持我們作為可靠和受人尊敬的公司的

地位未來(lái)和現(xiàn)在。請(qǐng)給我們更多的鼓勵(lì)和建議。我們始終對(duì)客戶的意見(jiàn)持開(kāi)放態(tài)度。

GVC2200真空計(jì)控制器

GVC2200型號(hào)可同時(shí)連接使用“熱陰極電離計(jì)、對(duì)流增強(qiáng)型皮拉尼計(jì)”和“電容壓力計(jì)”,測(cè)量范圍為高真空(10-9Torr)至大氣壓(1000Torr)。這相當(dāng)于“對(duì)流增強(qiáng)型皮拉尼計(jì)”和“熱陰極電離計(jì)”的連續(xù)測(cè)量范圍。另外,該控制器的設(shè)計(jì)是根據(jù)連接規(guī)的個(gè)數(shù),按照需求的情況,可以對(duì)測(cè)量通道進(jìn)行選擇。Interface端口可與外部其他機(jī)器連接，由6至8個(gè)獨(dú)立的設(shè)定點(diǎn)繼電器,4個(gè)模擬輸出，TTL、IG開(kāi)/關(guān)功能組成。另外,利用內(nèi)部設(shè)定點(diǎn),在脫離對(duì)流計(jì)壓力測(cè)定范圍進(jìn)入高真空時(shí),自動(dòng)打開(kāi)離子計(jì),除氣功能也可作為時(shí)間控制使用。

特點(diǎn)

離子真空計(jì)控制器標(biāo)準(zhǔn)尺寸，便于安裝

可以選擇測(cè)量通道

圖形LCD顯示。

6、8個(gè)Set-point供外部設(shè)備使用

離子計(jì)保護(hù)功能（自動(dòng)開(kāi)啟/關(guān)閉）

狀態(tài)欄可以確認(rèn)SP、IG on/off等目前狀態(tài)

ATM、零點(diǎn)設(shè)置按鈕

技術(shù)規(guī)格

離子計(jì)

Bayard-Alpert（熱陰極）規(guī)管的壓力指示是基于氣體分子電離產(chǎn)生的連續(xù)電流。負(fù)電子由從加熱的陰極以控制良好的固定速率射出并朝著帶正電的柵極（陽(yáng)極）加速運(yùn)動(dòng)。電子進(jìn)入柵極和對(duì)地連接的收集極空間內(nèi)。在這個(gè)空間內(nèi)電子與真空系統(tǒng)中的氣體分子碰撞產(chǎn)生正離子。然后正離子被位于柱狀柵極中心軸處的接地的收集極收集。在固定的燈絲對(duì)柵極的電壓和電子發(fā)射電流下，壓力低于10-3Torr時(shí)正離子形成率直接與分子密度（壓力）相關(guān)。離子流的強(qiáng)度在經(jīng)壓力單位調(diào)校的微安計(jì)上顯示出來(lái)。由于壓力的指數(shù)是線性的，熱陰極BA規(guī)管通常在壓力低于10-3Torr時(shí)被認(rèn)為進(jìn)行連續(xù)的壓力測(cè)量時(shí)精確的。

技術(shù)規(guī)格

對(duì)流增強(qiáng)型皮拉尼計(jì)

CG202真空測(cè)量范圍為8.0 x 10-4 至1000 Torr。需配套GVC2200控制器使用。

技術(shù)規(guī)格

壓力控制系統(tǒng)

APC200與GPC3000壓流控制器基本上是為電容壓力計(jì)提供一個(gè)電源(±15VDC)，與之相應(yīng)的壓力信號(hào)連接顯示器，同時(shí)使用PID排氣節(jié)流閥節(jié)流閥或Self-Tuning功能將壓力控制連接起來(lái)的系統(tǒng)，其中,使用“Self-Tuning”功能,可根據(jù)流入室中氣體的量、泵抽速度、閥位中的真空壓力變化,以及其他重要的參數(shù)感知壓力控制系數(shù)。使用此功能作壓力控制時(shí),可以更快地達(dá)到所需的壓力。內(nèi)置2個(gè)過(guò)程限制繼電器,可幫助用戶集成在裝備中。

特點(diǎn)

至多可以連接4個(gè)MFC的PCB卡，每張PCB由2通道(2個(gè)MFC)組成。

標(biāo)準(zhǔn)的面板安裝,通訊方式I/O或RS-232遠(yuǎn)程(RS-485選項(xiàng))，實(shí)現(xiàn)所有遠(yuǎn)程控制都是可能的。

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