2023年3月31日，日本政府宣布將限制23種半導(dǎo)體制造設(shè)備的出口。日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)大臣表示，7月開始將對(duì)六大類23種芯片制造設(shè)備的出口加以限制，涉及芯片的清潔、沉積、光刻、蝕刻等?？赡苁苡绊懙娜毡酒髽I(yè)包括尼康、東京電子等十余家。
此次的管制規(guī)則不包括對(duì)華設(shè)備出口中的非尖端產(chǎn)品。從用途來看，用于運(yùn)算的邏輯芯片的管制標(biāo)準(zhǔn)是10～14納米以下的技術(shù)。
行業(yè)分析人士認(rèn)為，盡管日本宣稱并未針對(duì)任何國家，但普遍被視為是在配合美國，通過出口管制措施以遏制中國制造先進(jìn)芯片的能力。
——中方表示：破壞全球產(chǎn)業(yè)供應(yīng)鏈，對(duì)日本的發(fā)展也不利
中國駐日本大使吳江浩表示，最近美方在半導(dǎo)體領(lǐng)域要求日本、荷蘭加入對(duì)華限制行列的消息傳得沸沸揚(yáng)揚(yáng)，如果屈從美國打壓，中日業(yè)界長期形成的產(chǎn)業(yè)鏈和彼此依存關(guān)系將受到巨大損害，日本半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)可能喪失中國這塊最大市場，自身發(fā)展的可持續(xù)性也將難以保障。
3月31日，外交部發(fā)言人毛寧主持例行記者會(huì)時(shí)表示：全球芯片產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈的形成和發(fā)展是市場規(guī)律和企業(yè)選擇共同作用的結(jié)果，將經(jīng)貿(mào)和科技問題政治化、工具化、武器化，人為破壞全球產(chǎn)業(yè)供應(yīng)鏈的穩(wěn)定，這種行為只會(huì)損人害己。Tokyo Electron在被列為管理品種的成膜設(shè)備中擁有很高的市占率，在該公司2021年度的銷售額中，中國占26％。同樣被認(rèn)為屬于管制對(duì)象的「ArF液浸曝光設(shè)備」的生成企業(yè)尼康表示，2022年度銷售的5臺(tái)產(chǎn)品中「至少有1臺(tái)面向中國」。
《讀賣新聞》認(rèn)為，有很多日本半導(dǎo)體制造設(shè)備主要是向中國出口，所以十分擔(dān)心政策對(duì)今后業(yè)績的影響。日本丸紅中國經(jīng)濟(jì)研究所主管鈴木貴元的分析稱，鑒于日本國內(nèi)芯片市場需求不夠強(qiáng)勁，政府的措施將對(duì)日本設(shè)備制造商造成打擊，損害日本企業(yè)的市場發(fā)展，在監(jiān)管層面上也必然會(huì)降低日本企業(yè)的競爭力。
作為日本最大的芯片制造設(shè)備供應(yīng)商，東京電子的產(chǎn)品可能面臨出口限制。制造半導(dǎo)體清潔設(shè)備的Screen Holdings公司發(fā)言人稱，該公司將審查出口公告相關(guān)內(nèi)容，并遵循指導(dǎo)。上述措施也可能打擊到尼康，該公司生產(chǎn)用于制造高級(jí)芯片的光刻設(shè)備，預(yù)計(jì)其掃描儀產(chǎn)品將受到出口管制。尼康發(fā)言人表示，公司仍在研究影響，并將“按照決定的規(guī)則行事”。
英國《金融時(shí)報(bào)》稱，限制設(shè)備出口對(duì)企業(yè)的影響范圍將超出預(yù)期。此前的預(yù)估表明主要受到影響的是東京電子和尼康，但知情人士認(rèn)為真正受到影響的公司至少有10家，包括Screen Holdings和愛德萬。
——韓國的借鑒：替代方案與“國產(chǎn)化”突破
2019年7月，日本政府宣布對(duì)出口韓國的半導(dǎo)體工業(yè)材料加強(qiáng)審查和管控，并將韓國排除在貿(mào)易“白色清單”以外，具體針對(duì)出口到韓國的高純度氟化氫、氟化聚酰亞胺，以及光刻膠等3種先進(jìn)化學(xué)品，對(duì)這些化學(xué)品實(shí)施嚴(yán)格的出口管制。
面臨進(jìn)口高端電子化學(xué)品出口管制后的韓企，隨即開展了國產(chǎn)化的嘗試。2019年11月。SK Materials成立了相關(guān)材料的研發(fā)中心，成功開發(fā)出基于三氟化氮（NF3）技術(shù)的氣態(tài)氟化氫原型，這給韓國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)帶來了很大的信心，隨后SK Materials在韓國慶尚北道的榮州工廠，設(shè)置了年產(chǎn)量15公噸規(guī)模的生產(chǎn)設(shè)備。從2019年的11月到2020年6月，SK Materials一直與客戶進(jìn)行測試，最終實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)。
2020年，韓國從日本進(jìn)口的氟化氫金額約為938萬美元，與上一年的3630萬美元相比，下降了74.2%。日本在氟化氫進(jìn)口總量中所占的份額從2019年的32.2%下降至12.8%。另據(jù)韓國海關(guān)的進(jìn)出口貿(mào)易統(tǒng)計(jì)，2020年韓國進(jìn)口的日本氟化氫數(shù)量為4942噸，與2019年的19835噸相比，減少了75%。
在日本實(shí)施出口管制后，韓國通過加快本土氟化氫產(chǎn)業(yè)競爭力的增強(qiáng)，減少了對(duì)日本的依賴。三星投資的化學(xué)品公司Soul brain通過增加高純度氫氟酸的生產(chǎn)，為穩(wěn)定供應(yīng)鏈做出了貢獻(xiàn)，SK材料也成功地量產(chǎn)了高純度氟化氫氣體產(chǎn)品。韓國貿(mào)易協(xié)會(huì)發(fā)布的數(shù)據(jù)顯示，韓國從日本進(jìn)口的氟化氫量自2019年6月的3026噸到8月份下降至零，并從同年12月恢復(fù)從日本進(jìn)口，至793噸，但此后表現(xiàn)趨緩，2020年月均進(jìn)口僅為400噸左右。另外，從中國臺(tái)灣的氟化氫進(jìn)口量盡管因日本政策而一度激增，但在2020年也同比減少了54%。
三星電子投資的Soul Brain宣布，已開始供應(yīng)與日本企業(yè)相同水平的超高純度氟化氫；SK Materials也已開始批量生產(chǎn)用于半導(dǎo)體制造的氟化氫。同時(shí)，應(yīng)韓國政府的要求，三星和SK海力士都在部分生產(chǎn)過程中導(dǎo)入了本國產(chǎn)品。
報(bào)道指出，韓國加速氟化氫自產(chǎn)自銷的行動(dòng)讓兩家日本公司受到重創(chuàng)。數(shù)據(jù)顯示，氟化氫巨頭Stella Chemifa和森田化學(xué)工業(yè)（大阪）對(duì)韓國的年出口額減少約60億日元。在截至2020年3月的財(cái)政年度中，Stella Chemifa面向半導(dǎo)體和液晶顯示器的氟化氫出貨量減少了26％。森田化學(xué)則表示，“將通過增加對(duì)韓國以外地區(qū)的供貨來彌補(bǔ)損失的份額。”
光刻膠方面，盡管大多韓企以失敗告終，但去年也有諸如東進(jìn)半導(dǎo)體成功開發(fā)出EUV光刻膠等突破。此外，其他材料方面，韓國也有尋找他國供應(yīng)商傾向，以硅片為例，今年1月，韓國從中、日進(jìn)口硅片金額已經(jīng)相當(dāng)，但多以6、8英寸為主。
亞化咨詢的研究顯示，韓國因日本政府的出口管制措施加大投資研發(fā)，高端材料和設(shè)備的“國產(chǎn)化”進(jìn)程進(jìn)步明顯。
2023年3月7日，日本政府為了解除對(duì)韓國的出口管理強(qiáng)化措施已啟動(dòng)協(xié)調(diào)。韓國政府3月6日宣布，中斷在日本實(shí)施出口管理強(qiáng)化措施之后推動(dòng)的世界貿(mào)易組織（WTO）爭端解決程序。日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省鑒于這一點(diǎn)，宣布將在近期與韓國舉行局長級(jí)對(duì)話。隨著起訴的中斷，雙方已具備重啟磋商的環(huán)境。
對(duì)于此次日本對(duì)中國的設(shè)備出口管制，在3月31日的華為2022年年度報(bào)告會(huì)上，華為輪值董事長徐直軍表示，中國情況不太一樣，“我們有大量的設(shè)備，自己也開始制造，所以日本無法達(dá)到對(duì)韓國那樣的效果。” 徐直軍稱，“對(duì)于中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)而言，這幾年不斷受到制裁，但產(chǎn)業(yè)不會(huì)坐以待斃，肯定會(huì)自救、自立、自強(qiáng)，華為支持半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)界所有相關(guān)活動(dòng)，相信中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)會(huì)在制裁中重生，真正實(shí)現(xiàn)自立、自強(qiáng)。”
——潛在影響與分析
此外，有業(yè)內(nèi)人士也擔(dān)心，日本的下一步是什么？會(huì)不會(huì)對(duì)日本在全球更具產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢地位的半導(dǎo)體硅片和電子化學(xué)品也實(shí)施出口管制？又將帶來哪些影響？
亞化咨詢認(rèn)為，如果日本對(duì)出口到中國的先進(jìn)設(shè)備與材料實(shí)施管制，可能會(huì)有以下影響：
首先，對(duì)日本的相關(guān)出口行業(yè)產(chǎn)生負(fù)面影響，尤其是那些依賴中國市場的企業(yè)。特別是在短期內(nèi)可能會(huì)導(dǎo)致這些企業(yè)的銷售額和利潤下降。數(shù)據(jù)顯示，2022年第四季度，日本對(duì)中國的此類設(shè)備出口額同比下降16%，而美國下降50%，荷蘭下降44%，已出現(xiàn)明顯下滑。
其次，如果不能從日本獲得必要的材料和技術(shù)，短期內(nèi)中國的半導(dǎo)體晶圓制造企業(yè)可能會(huì)有短暫的不利影響，這可能會(huì)導(dǎo)致部分中國半導(dǎo)體生產(chǎn)線產(chǎn)能和產(chǎn)量減少，同時(shí)在先進(jìn)制程上的突破進(jìn)一步放緩。
但中長期來看，如果中國無法從日本獲得必要的半導(dǎo)體設(shè)備和材料，會(huì)加速發(fā)展本國的相關(guān)產(chǎn)業(yè)，以國家大基金為代表的資本會(huì)不斷投入相關(guān)企業(yè)，從而彌補(bǔ)日本進(jìn)口減少的那部分，最終更快實(shí)現(xiàn)替代方案與“國產(chǎn)化”突破。
晶圓制造是當(dāng)今工業(yè)制造皇冠上的明珠，高純度濕電子化學(xué)品是晶圓制造過程中清洗、光刻、蝕刻等工藝流程的必備材料，也應(yīng)用于后端的封裝測試環(huán)節(jié)。SEMI預(yù)計(jì)2022年中國半導(dǎo)體用濕電子化學(xué)品市場規(guī)模為4.28億美元，同比增長14.13%。
電子氣體是半導(dǎo)體制造、顯示制造等產(chǎn)業(yè)的主要耗材之一，是中國戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展中必不可少的關(guān)鍵支持材料。近年來中國本土氣體企業(yè)如派瑞特氣、華特氣體、南大光電等的部分產(chǎn)品已經(jīng)進(jìn)入國內(nèi)外先進(jìn)晶圓廠中。SEMI預(yù)計(jì)2022年國內(nèi)電子氣體市場規(guī)?？蛇_(dá)11.13億美元，同比增長14.15%。
未來三年將是中國半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展期，中芯國際、華虹宏力、長江存儲(chǔ)、長鑫存儲(chǔ)等企業(yè)加速擴(kuò)產(chǎn)，格科微、鼎泰匠芯、華潤微等企業(yè)布局的多條8/12英寸晶圓生產(chǎn)線也將陸續(xù)投產(chǎn)，這將帶動(dòng)國內(nèi)高于全球濕電子化學(xué)品與電子氣體的需求增速。半導(dǎo)體電子化學(xué)品及氣體將迎來空前發(fā)展機(jī)遇。
此外，清洗與拋光、濕法刻蝕及光刻顯影、去膠等步驟需要濕法制程設(shè)備。以半導(dǎo)體清洗設(shè)備為例，根據(jù)亞化咨詢預(yù)測，2025年全球市場將達(dá)近41億美元，此外，清洗設(shè)備的國產(chǎn)化率僅在20%左右。未來國內(nèi)濕制程設(shè)備將迎來廣闊機(jī)遇。